2022上海計量院 “集成電路材料關鍵質量參數的檢測體系研究與應用”項目榮獲綜合類質量創(chuàng)新成果優(yōu)秀獎

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? ? ? ?2022年9月27日，2022年度上海市質量協(xié)會質量技術獎獲獎名單公布。上海計量院 “集成電路材料關鍵質量參數的檢測體系研究與應用”項目榮獲綜合類質量創(chuàng)新成果優(yōu)秀獎。

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　　上海市質量協(xié)會質量技術獎圍繞重點產業(yè)、重點領域質量提升工程以及質量技術基礎建設等方向，獎勵本市企事業(yè)單位在質量技術創(chuàng)新領域做出突出貢獻的項目成果和個人。

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　　“集成電路材料關鍵質量參數的檢測體系研究與應用”項目通過研究國際先進材料的質量體系、剖析先進工藝流程參數、調研國內集成電路產業(yè)使用材料的質量要求，進而確定了我國集成電路材料的關鍵技術指標。結合高純試劑的質量控制方案，通過開發(fā)采樣和前處理方法，優(yōu)化實驗環(huán)境質量控制的方案，細化檢測步驟，優(yōu)化設備參數等，形成了以痕量陰陽離子、顆粒為關鍵參數的集成電路材料質量體系。開發(fā)了包含濕電子化學品、光刻膠、拋光液中關鍵技術指標，如：痕量陽離子、陰離子、顆粒的檢測方法，突破了痕量檢測技術的瓶頸，滿足10nm-14nm工藝制程的質量要求。

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　　集成電路材料是集成電路產業(yè)發(fā)展的基礎，也是集成電路產業(yè)有序發(fā)展的保障。該項目突破了產業(yè)內多個“卡脖子”的關鍵難題，解決了材料上下游關鍵參數不明確、質量要求不一致的問題，打通了產業(yè)上下游的質量體系，打破了國外對材料驗收的技術壁壘，能夠較好地服務于集成電路材料國產化驗證項目和重要國產材料替代項目，助力國內集成電路產業(yè)的高質量發(fā)展。

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《轉載上海計量院》

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